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掩膜無線測溫系統(tǒng)

更新時間:2024-09-03

簡要描述:

掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴(yán)格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測量光掩膜版的溫度分布。

型號:RD8655點擊量:522

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掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴(yán)格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測溫系統(tǒng)產(chǎn)品特點主要技術(shù)參數(shù)

1.  體積小、精度高、采樣速度快;

2. 溫度準(zhǔn)確度高達(dá)1mK;

3采用無線通訊方式,響應(yīng)時間短。

掩膜無線測溫系統(tǒng)

溫度范圍

0 ~ 30℃

溫度準(zhǔn)確度

1mK(3σ)

重復(fù)測量準(zhǔn)確度

<2mK(3σ)

傳感器響應(yīng)時間

1s

采集頻率

max.4Hz

連續(xù)工作時間

100min

傳感器數(shù)量

14

通訊方式

Wifi

保修期

1年




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